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堆叠平台的常见类型有哪些?
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ningxueqin
ningxueqin
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发表于 2026-5-14 20:01:46
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堆叠式运动平台是一种将多个单轴直线运动平台(如X、Y、Z轴)按层级依次堆叠组装而成的多自由度精密定位系统,广泛应用于半导体、光学检测、激光加工等行业。那么,
堆叠平台
的常见类型有哪些?下面就让小编来为大家介绍下:
1、堆叠XY平台。是由两个单轴平台垂直堆叠,实现二维平面运动。代表产品:雅科贝思(Akkribis)PGS-ZTPR系列。
2、堆叠XYZ平台。在XY基础上增加Z轴(垂向运动模组),实现三维定位。例如用于微型显微镜或晶圆检测的定制平台。
3、三轨堆叠平台。平台的下轴配置三根导轨,可有效提升承载能力与稳定性,可支持更长行程,适用于半导体自动化产线。
据了解,雅科贝思(Akribis)提供由两个单轴直线运动平台垂直堆叠组成的二维精密运动系统,用于实现高精度、高速度的平面定位。这类堆叠平台被广泛应用于半导体检测、自动化组装、激光微加工等对运动控制要求严苛的领域。
产品特点:
1、结构组成:采用标准单轴模组(如DGL系列)叠加组合,形成X-Y二维运动。
2、高性能:具备高速、高加速度、高刚性、纳米级抖动控制等优势。
3、无齿槽力设计:采用直线电机驱动,消除齿槽效应,提升运动平滑性与定位精度。
4、模块化与定制化:支持灵活组合,可扩展为XYZ或XYT等多轴系统;部分型号专为无尘室、微型显微镜等特殊场景定制。
关于堆叠平台的常见类型,小编就先为大家简单的介绍到这里。雅科贝思旗下部分型号内置高精度光栅尺,实现闭环反馈,重复定位精度可达±0.3 μm 至 ±1.0 μm。若用户对其产品还有其他疑问,可通过雅科贝思官网来进一步咨询了解。
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